等靜壓石墨直拉單晶硅熱場(chǎng)和多晶硅鑄錠爐用加熱器

等靜壓石墨是上世紀(jì)60年代發(fā)展起來(lái)的一種新型石墨材料，具有一系列優(yōu)異的性能。譬如，等靜壓石墨的耐熱性好，在惰性氣氛下，隨著溫度的升高其機(jī)械強(qiáng)度不但不降低，反而升高，在2500℃左右時(shí)達(dá)到最高值; 與普通石墨相比，結(jié)構(gòu)精細(xì)致密，而且均勻性好; 熱膨脹系數(shù)很低，具有優(yōu)異的抗熱震性能; 各向同性; 耐化學(xué)腐蝕性強(qiáng)，導(dǎo)熱性能和導(dǎo)電性能良好; 具有優(yōu)異的機(jī)械加工性能。

正是由于具有這一系列的優(yōu)異性能，等靜壓石墨在冶金、化學(xué)、電氣、航空宇宙及原子能工業(yè)等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，而且，隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，應(yīng)用領(lǐng)域還在不斷擴(kuò)大。

在直拉單晶硅熱場(chǎng)中，等靜壓石墨部件有坩堝、加熱器、電極、隔熱遮蔽板、籽晶夾持器、旋轉(zhuǎn)坩堝用的底座、各種圓板、熱反射板等約30種。

其中，80%的等靜壓石墨用于制造坩堝和加熱器等。 近年來(lái)，對(duì)單晶硅棒的直徑要求越來(lái)越大,300 mm晶片的生產(chǎn)日益成為主流。

與此相應(yīng)，單晶爐加熱區(qū)的直徑大多為800 mm，爐內(nèi)的石墨坩堝為了保 護(hù)放置其中的石英坩堝，直徑達(dá)到了860 mm，加熱器直徑約960～1000 mm，其他部件的直徑有的最大達(dá)到了1500 mm。

從2003年開始，人們對(duì)地球居住環(huán)境的保護(hù)意識(shí)逐漸增強(qiáng)， 人們?cè)絹?lái)越青睞不排放二氧化碳的自然能源。在這種趨勢(shì)下，太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)急增。

在太陽(yáng)能電池多晶硅片的制造過(guò)程中，首先要將多晶硅碎塊熔鑄成多晶硅方錠。其中鑄錠爐的加熱器需要用等靜壓石墨來(lái)制作。