高純石墨介紹

 高純石墨是用于制作半導(dǎo)體技能設(shè)備的各種元件，它是以一般的結(jié)構(gòu)石墨在石墨化進(jìn)程頂用活性氣體凈化而成的。已凈化的石墨須在防止制品污染的條件下進(jìn)行機(jī)械加工。這種石墨（凈化后）的灰分不跨越1×10%，鐵、鋁、鎂的含量不該跨越3×105%，銅、硼、錳的含量不該跨越1×10%。上面這些約束雜質(zhì)含量都符合純真級(jí)。在這些石墨里，硅鈣的含量不大于3×10(質(zhì)量%）。工業(yè)上還有純度更高的結(jié)構(gòu)石墨。用這種石墨制成的制品經(jīng)過機(jī)械加工之后再進(jìn)行彌補(bǔ)凈化，以削減其外表沾染的幾率。約束雜質(zhì)——鐵、鋁、鎂、硼、銅、錳的含量不許跨越1×10%，硅的含量不許跨越3×10-%，鈦、鎳、鉻及其他元素的含量應(yīng)少于1x10%。這些石墨的灰分在0~10*%。各種商標(biāo)特純石墨的物理力學(xué)性能。
    注：TM石墨的熱處理溫度為2700℃，其他各種商標(biāo)石墨的熱處理溫度為2800~3000℃。有保護(hù)層的特純高強(qiáng)石墨是由一般細(xì)結(jié)構(gòu)石墨經(jīng)過凈化并在真空中脫氣，然后用熱解炭進(jìn)行外表增密處理而成的。其制品（加熱器、圓盤、石墨皿等)可用于以氣體外延成長法制取硅薄膜。